株式会社エフイーテックは太陽電池装置および半導体製造装置の設計、製造というフィールドで、「設計関連事業」、「装置組立事業」、「修理改造事業」、「保守管理事業」の4つの業務を展開しています。 |
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【太陽電池装置関係】
・ ウェハーエッチ処理装置の設計/製作から立ち上げメンテナンス
・ 粗エッチング゙処理装置の設計/製作から立ち上げメンテナンス
・ テクスチャー処理装置の製作から立上げメンテナンス
【半導体装置関係】
・ 全自動洗浄装置、汎用機等の製作/立上げ
・ 自動乾燥機 (S/D、IPA処理)、ウェハー検査装置の製作/立上げ
納入実績
納入作業実績(2009/8〜)
・ 半導体ハニカムTEX装置の設計/改造作業請負
・ 太陽電池装置の設計/製作〜立上げ〜製造、一式作業請負
・ 液晶乾燥装置の改造工事作業請負
・ 太陽電池装置の設計/製作〜立上げ一式作業請負
・ 半導体製造装置の製作請負
・ 太陽電池装置(インライン)の設計/製作請負
(Y社太陽電池装置 / J社半導体WET装置)
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主要取引先(事業実績)
■ Y社
・太陽電池製造装置(セル生産装置)の設計/組付一式請負い
(装置組付/調整〜現地立上げ)
■ J社
・半導体製造装置(洗浄装置)の製作サポート(組付/調整〜立上げ)
・メンテサービス対応(全自動洗浄装置、汎用機等のトラブル対応)
・乾燥機・・・S/D,IPAタイプ、ウエハー検査装置の製作/立上げサポート
・東北大震災の装置復旧作業(ルネサス・岩手東芝)
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